Oberflächenbehandlung für die Halbleiter-Industrie
Aufgabenstellung
Die Halbleitertechnologie ist die Basis für eine Vielzahl elektronischer Produkte, die aus dem Alltag nicht mehr wegzudenken sind. Integrierte Schaltungen, die beispielsweise in Mikroprozessoren zum Einsatz kommen, sind nur eines von vielen Beispielen für den alltäglich gewordenen Einsatz dieser Technologie.
Bei der Produktion von Halbleiterbauteilen werden mikroelektronische Schaltungen auf als Wafer bezeichneten Siliziumscheiben erzeugt. Um den steigenden Anforderungen des Marktes gerecht zu werden und Produktionsverfahren zu optimieren, forscht die Halbleiterindustrie ständig nach neuen Möglichkeiten, die Herstellung von Halbleitern umweltschonender und kostensparender zu gestalten. SOFTAL hat an einem solchen Projekt mitgearbeitet und Plasma-Behandlungsstationen für Wafer entwickelt. Diese haben sich in der Praxis bewährt und kommen heute in der Produktion zum Einsatz.
Technische Besonderheiten wie der An- und Abtransport eines empfindlichen Wafers unter Reinraumbedingungen, die vollständige Integration unseres Behandlungssystems in die Systemsteuerung des Fertigungslabors und die Spezifikation der optimalen Behandlungsbedingungen wurden in enger Zusammenarbeit mit dem Kunden gelöst. Entstanden ist eine Laborstation mit Transportsystem, Unterdruckhalterung und per Schrittmotor verfahrbarem Elektrodengehäuse. Die Entladung wurde in diesem Fall mit der bewährten Linear Plasma Elektrode erzeugt, um die empfindlichen Wafer mit einem potenzialfreien Plasma zu behandeln.
Ergebnisse
Haftungsoptimiert
Geringe Betriebskosten
Adhesion guaranteed
Unser Kundenstamm umfasst Anlagenhersteller, Veredler, Folienhersteller und Forschungsunternehmen. So verschieden die Erwartungen unserer Kunden und Partner sind, so vielseitig ist auch das Produktangebot von SOFTAL. Der modulare Aufbau unserer Anlagen ermöglicht kundenspezifische Änderungen und die anwendungsnahe Entwicklung von Stationen, Generatoren und Verfahren. Unser internes F&E-Team stellt dabei stets sicher, dass die gewünschten Ergebnisse erzielt werden. Dies entspricht unserem Leitsatz: Adhesion guaranteed – Haftung garantiert.
Kundenspezifische Schnittstellen und Lösungen
Die vielen Hardware- und Software-Lösungen unserer Corona-Systeme sorgen für die optimale Integration in kundenspezifische Anlagen und Prozesse.
Unsere Anlagen werden, ausgehend von Standardbaureihen, auf Ihr Material und Ihre Prozesse zugeschnitten.
Sie konzentrieren sich auf Ihre Kernkompetenzen – wir spezialisieren uns auf die Oberflächenbehandlung Ihrer Materialien.
Linear Plasma Verfahren
Das Linear Plasma Verfahren ist eine Weiterentwicklung des Plasma-Düse-Verfahrens für die großflächige Behandlung von Oberflächen. Da keine Gegenelektrode außerhalb des Gehäuses erforderlich ist, eignet sich dieses Verfahren für Materialien beliebiger Dicke. Es kann eine potenzialfreie Plasma-Entladung erzeugt werden, was die Behandlung selbst empfindlichster Materialien möglich macht.
Die umweltfreundliche Alternative
Eine Plasma-Behandlung ist die bessere Alternative zur Anwendung nass-chemischer Primer. Der Aufwand für Lagerung, Anwendung und Entsorgung von Chemikalien entfällt ebenso wie die Kosten für Trockner, und weitere Prozessschritte. Selbst im vergleichsweise aufwändigen ALDYNE™-Verfahren kommt ein einfach herzustellendes, unbedenkliches Prozessgasgemisch aus Stickstoff und Edelgasen zum Einsatz.
Technologien von SOFTAL zur Oberflächenbehandlung von Folien
ALDYNE™
Das Linear Plasma-Verfahren ist eine Weiterentwicklung des Plasma-Düse-Verfahrens. Da keine Gegenelektrode außerhalb des Gehäuses erforderlich ist, eignet sich dieses Verfahren für Materialien beliebiger Dicke. Es kann eine potenzialfreie Plasma-Entladung erzeugt werden, was die Behandlung selbst empfindlichster Materialien zulässt.
Stationsbaureihen
So unterschiedlich die Einsatzmöglichkeiten sind, so vielseitig ist auch das Produktangebot von Softal. Unsere Corona-Stationen werden, immer basierend auf unseren tausendfach bewährten Standardbaugruppen, passend für Ihr Material bwz. Ihre Prozesse ausgewählt oder entwickelt.
Generatorenbaureihen
Die Generatoren von SOFTAL sind ebenso anpassungsfähig wie unsere Corona-Stationen. Bedienfreundlichkeit, Robustheit, geringe Wartungs- und Betriebskosten und viele kleine und große Lösungen für den reibungslosen Produktionsalltag sind selbstverständlich für die Produkte eines Unternehmens, das seit Jahrzehnten Corona-Generatoren entwickelt und baut.
